Natančno čiščenje in površinaZdravljenje
Specializirani smo za zagotavljanje profesionalnih rešitev za čiščenje in obdelavo površin za napredne procesne tehnologije. Z integracijo virov strateških partnerjev v panogi sodelujemo pri zagotavljanju celovite storitvene podpore našim strankam. Naši partnerji imajo več kot 20 let praktičnih izkušenj na področju polprevodnikov, z ekipami, opremljenimi s tehničnim strokovnim znanjem, ki pokriva vse do 14nm vozlišča. Sposobni so zanesljivo zagotavljati storitve čiščenja in površinske obdelave za 8-palčne in 12-palčne tovarne rezin, ki zajemajo postopke, kot so fizično parno nanašanje (PVD), kemično parno nanašanje (CVD), jedkanje in ionska implantacija.
Kot servisni most izkoriščamo zrele sisteme vodenja kakovosti in odzivne storitvene zmogljivosti naših partnerjev, da strankam v proizvodnji integriranih vezij in polprevodnikov pomagamo pri reševanju strogega nadzora kakovosti in procesnih izzivov ter zagotavljamo učinkovito in stabilno storitveno podporo.
Študije primerov natančnega čiščenja
Testiranje vzorca po natančnem pranju morata raven delcev in raven ostankov kovinskih ionov na površini izpolnjevati zahteve trenutnega 28nm procesa.
-
prej -
Po
-
prej -
Po
-
prej -
Po
-
prej -
Po
Natančen postopek čiščenja in obnavljanja
-
Dohodni pregled
Dohodni pregled
Preverite videz, specifikacije in poškodbe.
-
Maskiranje
Maskiranje
Območja, ki niso obdelana, zaščitite pred korozijo.
-
Kemično odstranjevanje
Kemično odstranjevanje
Natančno odstranite stare premaze.
-
Izpiranje/namakanje
Izpiranje/namakanje
Kemične ostanke odstranite s čisto vodo.
-
Maskiranje
Maskiranje
Zaščitite območja pred peskanjem.
-
Peskanje
Peskanje
Prilagodite parametre, da dosežete ciljno hrapavost.
-
Dimenzioniranje in pregled
Dimenzioniranje in pregled
Izmerite in popravite dimenzije, da ustrezajo specifikacijam.
-
Toplotno pršenje
Toplotno pršenje
Nanesite -premaze, odporne na obrabo, z oblokom ali plazmo.
-
Visokotlačno-pranje
Visokotlačno-pranje
Odstranite velike površinske delce.
-
Ultrazvočno čiščenje
Ultrazvočno čiščenje
Izvedite natančno čiščenje, da odstranite drobne delce.
-
Sušenje čistih prostorov
Sušenje čistih prostorov
Sestavne dele temeljito posušite v čistilni pečici razreda 100.
-
Končni pregled
Končni pregled
Izvedite celovite preglede, da zagotovite skladnost.
-
Pakiranje
Pakiranje
Komponente vakuumske embalaže po zahtevah kupca.
-
Revizija pošiljanja
Revizija pošiljanja
Preverite količino in celovitost embalaže.
-
Končna dostava
Končna dostava
Ustvarite poročila in dostavite.
Storitvena zmogljivost
► 5000m2(55000 kvadratnih čevljev) čisto območje delavnice.
► Zmogljivost obdelave več kot 50000 kosov/mesec.
► 365 dni neprekinjenega in učinkovitega servisiranja.
► Različni izdelki, različni procesi.
►8 vodilnih predelovalnih linij, vključno s tehnologijami:
- Kemično čiščenje/odstranjevanje, fizično odstranjevanje
- ARC-sprej, plazma sprej, premazovanje, teksturiranje, vakuumsko čiščenje in pakiranje, remont itd.
Tehnične zmogljivosti
► Proces: 14nm napredni proces
► Obseg storitve: 4 palcev, 6 palcev, 12 palcev polprevodniških delov
► Postopek storitve: PVD/CVD/JEDKANJE/IMPLANTAT/LITO
► Strog nadzor kakovosti: visoko-standardna natančna čistilna tehnologija