Rutenijeva tarča

Antioksidant, odporen{0}}na korozijo in enakomerno{1}}tvorjen film, ki zagotavlja zelo zanesljivo rešitev za nanašanje-tankega filma za polprevodnike in aplikacije za shranjevanje podatkov.

Tarča za razprševanje iz rutenija je tarča za razprševanje iz plemenite kovine platinske skupine, izdelana iz rutenija visoke-čistosti (Ru) z rafiniranjem, taljenjem, kovanjem in natančno strojno obdelavo. Uporablja se predvsem v postopkih magnetronskega naprševanja s fizičnim naparjevanjem (PVD). Ta izdelek ima visoko tališče, visoko trdoto, odlično odpornost proti oksidaciji in kemično stabilnost, kar omogoča izdelavo enakomernih in gostih rutenijevih filmov. Najde obsežno uporabo v naprednem polprevodniškem pomnilniku, povezavah integriranih vezij, slojih difuzijskih pregrad ter napravah za shranjevanje in prikazovanje podatkov.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Ta serija rutenijevih tarč je izdelana iz-rutenijevih surovin visoke čistosti, ki dosegajo visoko gostoto in enakomerno mikrostrukturo s postopkom taljenja obloka in rafiniranja zrn. Izdelki so na voljo v različnih konfiguracijah, vključno z ravnimi tarčami in vrtečimi se tarčami, ter podpirajo indijeve-veze/elastično telo-vezne storitve hrbtne plošče, zaradi česar so primerni za aplikacije DC razprševanja.

Funkcija

Visoka čistost, konvencionalni razred, na voljo v specifikacijah ultra{0}}visoke čistosti.
Visoka trdota, odlična odpornost proti obrabi ter odlična odpornost proti oksidaciji in koroziji.

Prekomerno visoko tališče z odlično visoko{0}}temperaturno stabilnostjo.
Film ima enakomerno nanašanje in visoko gostoto, zaradi česar je primeren za napredne postopke izdelave polprevodnikov.

Specifikacije in modeli

Za prilagojene dimenzije, debelino, čistost ali tehnične specifikacije nas kontaktirajte. Zagotovimo lahko prilagojene materialne rešitve, ki temeljijo na vaši opremi za brizganje, zahtevah glede premazov in specifikacijah dimenzij.

Razsežnost klasifikacije	Vrsta izdelka	Osnovne funkcije
Stopnja čistosti	Različne stopnje čistosti	Splošni-namen za polprevodnike, zaslone in pomnilniške naprave.
Oblika izdelka	Krožna planarna rutenijeva tarča	Standardne specifikacije, združljive z večino opreme za brizganje.
	Rutenijeva tarča v obliki pravokotnika/-bloka	Primerno za nanašanje premazov-za velike površine.
	Vrtljiva rutenijeva tarča	Primerno za veliko-območje, visoko{1}}učinkovito nanašanje.

Aplikacija

Polprevodniki: kondenzatorske elektrode DRAM/MIM, medsebojno povezane difuzijske pregradne plasti.
Napredno shranjevanje: Magnetno shranjevanje, Phase-Change Memory, uporovni pomnilnik.
Integrirano vezje: bakrena povezovalna začetna plast, pregradna plast in logična naprava.
Prikazovalne naprave: ploski-zasloni, tanko{1}}filmske elektrode OLED.
Optoelektronika in fotovoltaika: optični premazi, funkcionalne plasti fotovoltaičnih celic.
Precizna elektronika:-električni kontakti, odporni proti obrabi, debelo{1}}slojni upori, senzorji.

Priljubljena oznake: rutenijeva tarča, Kitajska rutenijeva tarča proizvajalci, dobavitelji, tovarna